MSA-600显微式激光测振仪

测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性

  表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构(如MEMS器件)进行测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。

典型应用   

  ·  微型结构的面外振动,测量单点振动或者两点间的相对振动

          >  梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等

  ·  微型结构的面内振动

          >  梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动

  ·  微型结构的表面形貌

          >  梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌



需要报价

            专用于显微结构的光学测量工作站,集三大功能于一体:

             ※   基于激光多普勒原理的面外振动测量模块:

                   超高分辨率,能实时显示面外振动特性,位移分辨率达亚pm级,最大频率高达25MHz,最大振动速度为10m/s,且能进行差分测量;

             ※   基于频闪法的面内振动测量模块:

                   能直观生动地显示结构面内振动特性,位移分辨率5nm,最大频率为2.5MHz,最大振动速度为10m/s;

             ※   基于白光干涉原理的形貌测量模块:

                   可在几秒钟内提供数以百万计的结构三维表面数据,垂直测量范围250μm,光滑平面的分辨率为45pm,粗糙表面的分辨率为1.2nm。