简介：

  激光是利用微型光学系统对微小物体进行振动测量，可以对MEMS等微结构元件的振动和形状进行精确测量，激光光斑达到微米级；

利用显微成像系统，可对目标的振动状态(频率、速度、加速度、位移)进行实时观测，并利用白光干涉法测量物体的形状和特性。

工艺参数：

操作温度：3~45℃。

生产湿度：<90%

速率范围：10米/秒

输出电压：10伏。

频段：DC~3MHz。

尺寸：1/2；距离：9毫米(使用10X物镜时)

数字摄像机：320万像素(USB2.0)

显微式激光测振仪特征

1.无触点测量，无负荷测量；

2.激光点很小，微米级；

3.高带宽和动态范围；

4.高空间分辨率；

5.任意操作距离；

6.高度灵活，安装方便，操作简单；

7.显微式激光测振仪结构紧凑，性能稳定，测量精度高；

8.带同轴照明装置及照相机，可快速确定测量位置。

适用范围：

微机电系统动态测试；

对诸如昆虫和其他生物生物的振动特性进行医学研究；

计算机动态测试：硬盘驱动器/光碟/磁带等；

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