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MSA-100-3D 显微式测振仪
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MSA-100-3D 显微式测振仪

MEMS系统的3D振动测量

　　实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。     

典型应用  　

　　·  惯性传感器，如加速度计和陀螺仪

　　·  微机电传感器和致动器 (MEMS) 

　　·  打印机喷墨头

　　·  压力传感器薄膜

　　·  耳机、微型镜头等


需要报价

　　· 实时振动测量，高达 25MHz 的大带宽

　　· 用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级

　　· 单点式和全场扫描式振动测量

　　· 激光光斑小于 4μm，横向分辨率极高

　　· 测试距离大，可达38mm

　　· 可与常见的MEMS商用探针测试台兼容


附件下载：无


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