深入探讨表面检测的特定测量任务
功能性与流程要求通过标准化的表面参数来表达，这些参数能定量描述形貌与纹理特性。以下汇编详述各项参数、推荐的评估方法及兼容的测量系统。
表面粗糙度测量
三维表面纹理分析。从Sa/Sq 到Str/Sal ，用于验证规格和表面特征。
保持形状和位置公差
验证形状和位置公差，例如波纹度、平整度、平行度和倾斜度。光学三维表面测量技术可提供可靠的结果——即使在孔内也是如此。
微结构的表面计量学
微结构的地形学与动力学及其在纳米技术中的应用。三维几何形状、粗糙度以及时间分辨运动。
平整度、厚度和平行度
平整度、厚度和平行度（FTP）测量将顶面和底面形貌测量整合到单次测量中。
3D领域的涂层质量控制
3D涂层质量控制。评估涂层前的表面纹理、涂层后的缺陷以及膜厚。
摩擦学分析
使用3D表面轮廓仪进行摩擦学分析。检测摩擦、磨损和润滑性能。
合格/不合格分析
WLI 能够基于面状 3D 数据，提供快速、客观且易于使用的合格/不合格反馈。亚纳米级 Z 方向分辨率和基于工艺配方的工作流程支持在线统计过程控制（SPC）。