小型零件及微观结构的全场振动测量
MSA-060显微式激光测振仪是一款紧凑型光学测量系统，用于全面评估MEMS和微系统的振动行为、精密机械的动力学特性以及电子设备的可靠性。这款入门级解决方案有助于确定共振频率、振动振幅，甚至可对整个样品的工作挠曲形状进行可视化显示。
MSA-060 专为全场非接触式振动分析而设计，能够从极其微小且精密的测试结构到介观尺度的测试结构，捕捉真实的振动动力学特性。功能强大的数据采集系统VibSoft-PRO配备参考通道和信号发生器。可选配的xy平台可扫描整个样品表面，在直流至24 MHz的扩展带宽范围内，提供具有皮米级分辨率的实时振动数据。
亮点
//- 具有激光级精度的紧凑型振动测量系统
- 最高 24 MHz 的实时响应测量
- 皮米级面外位移分辨率
- 配备集成 HD+ 摄像头，设置和文档使用简便
- 功能强大的数据采集系统，包含参考通道和信号发生器
- 带电动XY工作台的扫描选项
- 用于全面数据分析和挠度形状动画制作的软件
激光振动测量：聚焦于细微之处
- 以非接触式方法表征微小且精密的结构。
- 分析振动、声学和动力学。
- 利用光测量生物医学样本、电子元件及MEMS等微结构，无需施加质量载荷，且测量范围涵盖直流至吉赫兹（GHz）频段，具有宽带宽特性。
激光测振仪专注于微小细节，通过测量挠曲形状来验证模型。它们可评估频率响应，并测定共振频率、冲激响应及Q因子。无论物体大小如何——Polytec激光测振仪都能进行测量！
一款配备显微镜光学系统的多功能、模块化激光测振仪
借助最高达24 MHz的专业数据采集功能（包括参考通道和信号发生器），即使在独立使用时也能发挥优势。该模块化且灵活的系统配备紧凑型支架，同时支持可选的经典三脚架安装方式。MSA-060 配备多种显微镜物镜，可作为微米级和中米级样品的入门级扫描系统。 通过集成的高清+摄像头及其内置照明单元，您可轻松完成设置并生成测试报告，同时保持全面的视觉控制，从而获得最佳视频质量并简化扫描网格的定义。最后但同样重要的是，您将受益于扫描激光多普勒振动测量领域的黄金标准软件，该软件提供全面的数据分析与评估以及可编程信号处理器，从而实现测量数据和动画位移曲线的直观可视化。
Microstructure User Meeting 2027
Join our international community of MEMS and microstructure experts. The next Microstructure User Meeting will take place in November 2027 at Polytec headquarters in Waldbronn.
Explore the event topics, register your interest, and discover highlights, presentations and impressions from the successful 2026 meeting.
配件和组件
相关产品
MSA-650 IRIS显微式激光测振仪
这款创新且已获专利的MSA-650 IRIS显微式激光测振仪具备红外（IR）功能，可通过硅封装对面内和面外运动进行表征，无需接触即可测量高达25 MHz的真实MEMS动态特性，且无需对器件进行预处理或去封装。
MSA-600显微式激光测振仪
MSA-600显微式激光测振仪专为MEMS与微结构测量打造，集成三维静态与动态特性测试能力，是一款一体化光学测量解决方案。其在加速产品研发流程、强化质量管控方面表现出色，并可集成至商用探针台用于晶圆级测试。目前测量频率已扩展至8 GHz。
MSA-100-3D显微式激光测振仪
3D显微式激光测振仪可同时记录三个空间方向上的振动分量。其光学测量系统能够对平面内和平面外的振动分量进行高分辨率的三维振动分析，频率范围从直流到25 MHz，振幅分辨率可达亚皮米量级。
PSV Software
PSV Software 是每套Polytec 全场振动测量系统的核心。这款功能全面的软件包可快速、简便地采集、显示和编辑通过所有VibroScan QTec 扫描式振动计、用于显微观察的MSA微系统分析仪系列或自动化结构测试站RoboVib® 采集的振动测量数据。
VibSoft
VibSoft 是一款功能全面且易于使用的振动数据采集与分析软件包。VibSoft 弥合了原始信号采集与振动测量数据深度分析之间的差距，可与激光振动计配合使用，发挥最佳性能。