彩色三维图显示半导体垂直互连(VIA)通道深度和结构,突出高精度表面轮廓测量技术。

垂直互连接入(VIA)

可靠的质量检测:在自动化工艺中检查蚀刻深度,测量垂直互连通道的距离和表面参数。

垂直互连(VIA)的特性分析

垂直电气连接——也称为“垂直互连通道”(简称VIA)——主要应用于高密度集成开关电路,其结构具有较高的长宽比。其中,TSV(硅通孔)已成为半导体领域的一项成熟技术。

Polytec的光学表面测量技术可实现简便且可靠的质量检测:在自动化工艺中检查蚀刻深度,测量VIA上的距离和表面参数。色差共焦传感器和基于显微镜的轮廓仪提供了多功能的测量能力,既适用于实验室环境,也适用于生产现场及在线检测。

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